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晶体制备的计算机气体流量控制系统

适用领域

  • 科学院,有色金属研究院,大学科研课题研究
  • 人工晶体制备,晶体制备工艺研究
型号

  • JJH-GAS
系统功能指标

  1. 主控计算机通过控制输出及数据采集卡向流量阀发出指令,控制流入晶体炉内特定气体的流量
  2. 计算机控制实现流量的波动方式和恒值工作方式
  3. 控制流量的路数(气体的种类)根据工艺需要可以调整
  4. 输出的工艺曲线可以记录存盘,便于历史数据分析

 

 
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